高精度小型三轴气浮台研制成功
发布时间：2026-02-13 10:00
日前，中科院光学细密机械取物理研究所研制成功了高精度小型三轴气浮台，具有精度高、体积小、承载机能好、加工周期短等长处。
日前，中科院光学细密机械取物理研究所研制成功了高精度小型三轴气浮台，具有精度高、体积小、承载机能好、加工周期短等长处。